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SEM原位热电芯片台
泽攸科技的SEM加热台是一款集创新性和实用性于一体的高端科学仪器，它能够在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且对实验样品进行原位加热。该系统允许研究者在气氛环境中原位、动态、高分辨地对样品的形貌结构和化学组分进行综合表征，大大拓展了扫描电镜的功能与应用领域。
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泽攸科技PicoFemto扫描电镜热电芯片样品台采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建实验环境，通过MEMS芯片对样品施加热场和电信号等，结合使用EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测样品的表征变化。
性能指标：
▲ 兼容指定型号扫描电镜
▲ 最高加热温度：1200 ℃
▲ 控温稳定性：±0.1 ℃
▲ 高温下样品漂移：≤0.7 nm/min
▲ 高温下图像分辨率：≤1.2 nm@15kV
▲ 芯片兼容TEM-MEMS原位芯片样品杆
▲ 自动I-V,I-t测量，数据自动保存
▲ 可搭配电学测量
