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INSTEC XYZ模块化高温探针台 HCP1000V-MPS
HP1000V-MPS Instec的真空高温探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
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特点与优势- mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
- 可编程控温，涵盖RT~1000℃
- 适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件
- 可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
- 独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针
- 可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
- 模块化设计，可自由组合
*SMA接头转BNC四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试
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温度范围 |
30℃~1000℃ |
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加热块材质 |
陶瓷 |
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传感器/温控方式 |
最大升温速率 S / PID控制（含LVDC降噪电源） |
| 最大升温速率 |
50℃/min |
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最小温控速度 |
±0.1℃/min |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温度稳定性 |
±0.5℃ |
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软件功能 |
可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
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探针 |
默认为铼钨材质的弯针探针 |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂 |
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点针 |
从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
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探针接口 |
默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线） |
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样品台面电位 |
默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
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适用光路 |
反射光路 |
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窗片 |
可拆卸与更替的窗片 |
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最小物镜工作距离 |
8/12 mm （可选） *截面图中WD |
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上盖窗片观察 |
窗片范围φ45mm，最大视角±58° *截面图中θ1 |
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负温下窗片除霜 |
吹气除霜管路 |
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适用样品 |
25 mm*25mm |
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样品腔高 |
4/8 mm （可选） |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm |
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调节精度 |
10um |
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气氛控制 |
真空腔，也可充入保护气体 |
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外壳冷却 |
可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
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台体尺寸/重量 |
300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg |
- 基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
- 可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
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TP102V-MPS |
温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm |
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HCP421V-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区Φ26mm |
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HCP402V-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm |
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HP1000V-MPS |
温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,真空腔室 |
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定制型号 |
按客户需求定制，最大适用300mm晶圆样品 |
典型应用- 表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
- 需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的
- 需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的
- 需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的
- 晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试
- 测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率
