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INSTEC XYZ模块化变温探针台 HCP421V-MPS
HCP421V-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
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特点与优势- mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
- 可编程控温，涵盖-190℃~400℃
- 适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
- 可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
- 独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,
- 模块化设计，可自由组合
- 可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
- SMA接头转BNC四探针，手动点针
*可做定制或改动
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温度范围 |
-190℃~400℃（负温需配液氮制冷） |
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加热块材质 |
银 |
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传感器/温控方式 |
100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源） 30℃/min |
| 最小温控速度 |
±0.01℃/min |
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温度分辨率 |
0.01℃ RTD传感器 |
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温度稳定性 |
±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
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软件功能 |
可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
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探针 |
默认为铼钨材质的弯针探针 |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂 |
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点针 |
从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
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探针接口 |
默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线） |
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样品台面电位 |
默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
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适用光路 |
反射光路 |
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窗片 |
可拆卸与更替的窗片 |
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最小物镜工作距离 |
8/12 mm （可选） *截面图中WD |
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上盖窗片观察 |
窗片范围φ45mm，最大视角±50° *截面图中θ1 |
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负温下窗片除霜 |
吹气除霜管路 |
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适用样品 |
26 mm直径 （标准） |
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样品腔高 |
4/8 mm （可选） |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm |
| 调节精度 |
10um |
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气氛控制 |
真空腔，也可充入保护气体 |
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外壳冷却 |
可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
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台体尺寸/重量 |
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
- 基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
- 可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
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TP102V-MPS |
温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm |
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HCP421V-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 Φ26mm |
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HCP402V-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm |
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HP1000G-MPS |
温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,气密腔室 |
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定制型号 |
按客户需求定制，最大适用300mm晶圆样品 |
典型应用- 表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
- 需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的
- 需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的
- 需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的
- 晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试
- 测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率
