• 全自动台阶仪 JS3000B


    国产全自动台阶仪 JS3000B,拥有高精度、高分解能力,搭配一体花岗岩结构,提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

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产品描述

泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表,凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能,可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量,在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。

JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描,将微观轮廓的垂直位移转化为电信号,结合高灵敏度传感器与信号处理算法,实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统,通过精密调节探针与样品间的接触压力,既避免了对软质材料的损伤,又确保了测量过程的稳定性。此外,设备搭载的摄像头实时成像系统,可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系,辅助用户精确定位特征结构,显著提升测量效率。

作为国产科学仪器的突破性成果,JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断,凭借高性价比与本地化服务优势,成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。 
特点与优势

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
应用实例

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

▲ 3D扫描成像

▲ 计划任务和多点扫描

▲ 批量测试晶圆,批量处理数据等

系统组成和配件

系统组成


▲ EFEM(LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

• 选配品


▲ 高度校准标样

▲ FFU模块

▲ 静电消除模块

▲ E84接口

软件界面及扫描图

软件界面


扫描图


技术参数

JS3000B

台阶高度最大范围

≤80um

台阶高度重复性

≤0.5nm

垂直分辨率

0.05nm

探针加力范围

0.5mg~50mg

单次扫描长度

≤55mm

晶圆尺寸

可兼容8寸、12寸Wafer

晶圆厚度

≤10mm

晶圆材质

硅、钽酸锂、玻璃等(不透明,半透明,透明)

图像识别系统精度

定位精度优于±10um

机械动作稳定性

马拉松传送测试>500片

生产效率

WPH≥10片(单面量测≥5个位置)

台阶高度最大范围

≤80um

标准探针

曲率半径≥2um角度60°(标配)

亚微米探针

曲率半径≤1um角度60°(选配)

软件功能

数据处理:台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量;

应力测试和3D扫描成像

数据通讯:SECS通讯接口

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