半自动台阶仪 JS100B-领拓仪器-标乐金相制样,进口硬度计,徕卡显微镜,徕卡电镜制样,烘箱,台式桌面扫描电镜

半自动台阶仪 JS100B

国产半自动台阶仪JS100B/200B/300B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

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产品描述

泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。

JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描，将微观轮廓的垂直位移转化为电信号，结合高灵敏度传感器与信号处理算法，实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统，通过精密调节探针与样品间的接触压力，既避免了对软质材料的损伤，又确保了测量过程的稳定性。此外，设备搭载的摄像头实时成像系统，可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系，辅助用户精确定位特征结构，显著提升测量效率。

作为国产科学仪器的突破性成果，JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断，凭借高性价比与本地化服务优势，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。

特点与优势

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比

应用实例

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

▲ 3D扫描成像

▲ 计划任务和多点扫描

系统组成和配件

系统组成

▲ 一体式台阶仪

• 选配品

▲ 高度校准标样

软件界面及扫描图

软件界面：

扫描图：

技术参数

JS100B JS100B（6寸）、200B（8寸）、300B（12寸）
样品	单片（厚度≤10mm，可定制）
样品尺寸	≤150mm ≤200mm ≤300mm
重复性测量偏	≤0.5nm（1σ 1um标准块重复扫描30次）
最大测量高度	80um
垂直分辨率	0.05nm 满量程
探针加力范围	0.5~50mg
力控制	恒定
采样速度	200Hz
最大扫描长度	55mm
扫描方向	左右双向
扫描最大采集点数	200万点
扫描速度	5um/s - 100um/s
样品台运动方式	可实现水平（X/Y），旋转（RZ），电动控制
XY样品台行程	150mm 200mm 300mm
XY重复定位精度	±3um
Z样品台行程	10mm
样品旋转台	±360°， 0.01°分辨
标准探针	曲率半径≥2um 角度60°（标配）
亚微米探	曲率半径≤1um 角度60°（选配）
软件功能	台阶、粗糙度等表面形貌测量，应力测量和3D扫描成像