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2021-07-13

应用案例 | 扫描电子显微镜在电子行业材料领域的应用

来源:     作者:    浏览:280


在半导体领域中,扫描电镜可以用来分析材料成型机理,器件失效分析,工业工艺控制等问题,对研究和生产有着至关重要的作用。


(1)材料的表面形貌观察

通过扫描电镜观察材料表面形貌,为研究样品形态结构提供了便利,有助于监控生产产品质量,改善工艺。观察的主要内容是分析材料的几何形貌、材料的颗粒度及颗粒度的分布、物相的结构等。


(2)涂镀层表面形貌分析与镀层厚度测量

♦涂镀层表面形貌分析

通过对涂层表面形貌观察与分析涂层颗粒尺寸,涂层与基材结合,可以有效的对涂层质量进行管控。材料断面的失效分析 、组织内的结构和损伤形貌,都可借助扫描电镜来判断和分析。

♦涂镀层厚度测量

涂镀层厚度直接影响零件或产品的装饰效果、耐腐蚀性、导电性、产品的可靠性和使用寿命。镀层厚度在产品质量、过程控制、成本控制中都发挥着重要作用。使用扫描电子显微镜能精确测量材料镀层厚度,且成像清晰,效果直观。


(3)材料的微区化学成分分析

分析过程中,获得形貌放大像后,往往希望能同时进行原位化学成分或晶体结构分析,提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的更多信息,以便能更全面、客观地进行判断分析。




扫描电镜的实际应用案例展示

(1)太阳能电池,需要硅片表面正面银浆涂层进行形貌观察,得到如下结果。




(2)对LED芯片进行内部结构观察。






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