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2026-03-10

领拓科普 | 真空镀膜仪可以镀哪些材料?

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在电子显微镜(SEM、TEM)样品制备中,真空镀膜仪的核心作用是在样品表面沉积薄膜,改善成像质量、消除荷电效应,其可镀膜材料种类直接决定适配范围。优质真空镀膜仪能覆盖多种材质需求,徕卡EM ACE系列便是典型,可稳定沉积多种常用材料,适配不同制样场景,具体可镀膜材料及特性如下。

徕卡EM ACE系列真空镀膜仪依托成熟的溅射与蒸发技术,结合自动化设计,可灵活适配不同材质镀膜需求,稳定沉积碳、金、铂等多种常用材料,覆盖多数科研与生产制样场景。


碳丝蒸发镀膜是徕卡真空镀膜仪的基础功能,徕卡EM ACE系列通过碳丝或碳棒蒸发技术实现镀膜,适配X射线微区元素分析、TEM复型制备等需求。徕卡EM ACE200采用脉冲碳丝蒸发技术,搭配石英片膜厚监控,可精准控制碳膜厚度(精度0.1nm),保证均匀性与可重复性;EM ACE600新增碳棒蒸发选项,进一步拓宽碳膜制备范围。

A:常规碳膜(15纳米碳);B:超薄碳膜(3纳米)。 轻松观察硒化镉 (CdSe) 量子片的晶格。


金、铂等金属镀膜主要通过溅射技术实现,徕卡EM ACE系列可稳定完成,适配高分辨率成像需求。EM ACE600可实现冷冻镀膜并搭配冷冻传输装置,满足Cryo-SEM等特殊场景需求;金膜作为SEM形貌观察常用导电膜,能有效提升二次电子信号量、改善成像清晰度。此外,设备还可完成铬、钨等其他金属的溅射镀膜。


徕卡EM ACE系列能实现多材料镀膜,核心在于灵活的镀膜配置与自动化控制。设备支持溅射、蒸发两种核心方式,可根据材料特性选择;高真空镀膜仪可同时加装2种镀膜靶源,无需频繁换设备,提升制样效率,全自动控制系统也能减少人为干预,保证镀膜稳定性。

广州领拓仪器科技有限公司已获得徕卡正式代理授权,专注于徕卡EM ACE系列镀膜仪的供应与基础服务,涵盖全系列机型,为科研、生产领域提供适配选择,同时可提供操作培训等支持。



END


综上,真空镀膜仪可镀材料种类丰富,徕卡EM ACE系列可稳定沉积碳、金、铂、铜等材料,凭借灵活配置与成熟技术,满足多领域制样需求。结合广州领拓仪器的代理服务,能让更多用户便捷获取高性能镀膜设备。广州领拓仪器科技有限公司官网为www.l-victor.com,联系电话18102717108,欢迎咨询。

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